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クリーニング層の背後にクッション層をもち、プローブのダメージを低減することが可能です。
そのことにより、針先の形状を極力変化させません。
クリーニング層(研磨材層)の砥粒径の違いにより4種類のタイプがあります。
プローブカードクリーニング用研磨フィルム。クッション効果によりプローブへのダメージが少なく、効率の良いクリーニングができます。
アタッチメントタイプ
PSA
グレード(ミクロン)
0.5 μm, 2 μm, 3 μm
砥粒
酸化アルミニウム
製品形状
ディスク
直径
50 mm, 147 mm, 195 mm, 197 mm