3M™ トライザクト™ CMPパッド

3M™ トライザクト™ CMPパッドは、マイクロレプリケーション技術により、精密にパッドの表面形状をコントロールしており、ディフェクトの低減とパッドライフにおける一貫したパッド性能を実現します。この3M™ トライザクト™ CMPパッドは、ダイヤモンドパッドコンディショナーが不要で、長いパッドライフを有しており、ダウンタイムを減らすことによるコストオブオーナーシップの改善が期待されます。

3M™ トライザクト™ CMPパッドは、先進ノードの半導体製造に使用できる革新的なCMPパッドです。マイクロレプリケーション技術に基づき、三次元構造の凹凸と微細孔は、凹凸の直径、高さ、孔の深さを均一に保つよう精密に設計されています。これらのマイクロレプリケーション技術により、半導体製造で求められるパッド間での一貫したパフォーマンスを実現します。また、これらのCMPパッドの革新的な溝のデザインは、ウエハー全体へスラリーをより効率的で均一に行き渡らせることに貢献します。