3M™ CMP パッドコンディショナーブラシ

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耐食性のあるポリマーを使用

耐久性のある樹脂毛が樹脂パッド、フェルト製パッドに付着したゴミの除去をアシスト

ポリシング装置、エンドエフェクタへの取り付けが容易

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詳細

特長
  • 耐食性のあるポリマーを使用
  • 耐久性のある樹脂毛が樹脂パッド、フェルト製パッドに付着したゴミの除去をアシスト
  • ポリシング装置、エンドエフェクタへの取り付けが容易
  • 耐久性の高い毛をブラシ面全体で独立して固定。
  • 3M™ CMPブラシは、琢磨工具のエンドエフェクターに簡単に接続できます。

3M™ CMPパッドコンディショナーブラシは、CMPバフプロセス向けに開発されたブラシです。

  • green CMP pad conditioner brush close up

    ソフトCMPパッドとの相性も抜群

    強力で耐久性のある毛が独立して固定され、3Mブラシの表面に均一に分布しているため、柔らかいマイクロレプリカ、ポロメトリック、フェルトベースのCMPパッドからパッドデブリを取り除くのに最適です。ブラシ毛は、金属よりも耐腐食性に優れた独自のポリマーで作られています。ポリカーボネート製キャリアは、ユニバーサルマウント構造を採用しており、さまざまな研磨ツールやエフェクターに簡単に接続することができます。

CMP, Pad Cleaning, and Wafer Manufacturing

仕様

参考資料