3M™ トライザクト™ ダイヤモンドラッピングフィルム 661XA, シート/ロール

特長

• 立体構造を持たない一般的なダイヤモンドフィルム研磨材と比べて、高い研磨力と精細な表面を得ることが可能です。
• 立体構造体の谷底に研磨中に発生するワークの削りカスや磨耗後の研磨砥粒などが落ち込み、排出されやすくなるため、ワーク表面を傷つける頻度が減り、精細な表面を得ることが可能です。
• 半導体チップや電子デバイス等の硬軟混合材料の断面を研磨する場合、高い研磨力で異種材料を短時間に研磨しますので、高い平坦度を得ることが可能です。
• 三角屋根形状の立体構造体は研磨の進行と共に磨耗しますが、そのことで新たなダイヤモンド砥粒が露出するため、研磨効率の低下を抑えつつ、一般的なフィルム研磨材と比較して長時間の研磨を可能とします。
• 形状は四画形のシート、もしくはロールタイプです。
• フィルムと定盤への貼り付けには、定盤上の水の表面張力を利用した貼り付け、一般的に販売されているシリコンシート等を利用する方法、裏面に接着層（PSA層）持つ製品をご利用いただく方法、があります。
• ダイヤモンド砥粒径は、9μm、2μm、0.5μm、があります。